“更重要的在于28nm好研究，但是想再往前，14nm、7nm的光刻机会异常困难。”

    “目前光刻机指标有node cd和half-pitch cd。”

    “half-pitch cd 是专用于光刻领域描述光刻分辨度的技术指标。比如说前一代193i光刻机， hp cd极限值等于38 nm.现在的euv nxe 3400b可以做到极限13nm.”

    “node cd跟 hp cd不是一个概念。”

    “node cd是一个半导体器件的概念，目前主流媒体所说的技术节点便是这个node cd。”

    “一般来说 node cd约等于1/2 *hp cd。”

    cd全称是critical dimension

    “其中11年 intel首先将finfet技术引入22 nm节点。”

    “22nm要求 44nm的光刻hp cd。这个要求在实际工艺中很难实现，太接近38nm极限值了。”

    “所以intel率先使用double patterning技术。这一技术把同一层的非常靠近的光刻图案分解到两个掩模(mask)上。分两次曝光实现。”

    “同理，self-aligned的技术也被引入，三次曝光，四次曝光都成为了可能。”

    程钢听得满脸问号，内心对young在半导体领域的造诣之深感到震惊。

    五十岁的人了对前沿技术信手拈来，能做成idg的合伙人果然都是狠人。

    他没有打断young，因为他对这方面也很感兴趣。

    “所以就光刻技术而言，分辨率并不是大问题。尤其在self-aligned技术中。deposition淀积可以实现非常好的精度控制，特别是ald，能实现 atom on atom的精确控制。”

    “既然光刻图案需要被分解到多个mask上，芯片的图案自然不能由着芯片ic设计师随意画了，得遵循光刻的规则。”

    “花为海思部门有在申海的，有在鹏城的。没一家在弯弯。”

    “而这种光刻版图的规则毫无疑问是芯片代工厂的最高机密。tsmc不可能透露给客户的。海思只能把逻辑设计交给台积电，台积电再进行制造的优化。”

    “海思原始设计没办法考虑这些光刻规则。这也是为什么业界一直认为长期竞争中，intel与三星优势的原因。”

    “三星很早就把三次，甚至四次曝光（self-aligned）技术引入了nand fsh生产。”

    “因此当台积电还在22 nm时，三星就开始宣传我们已经有14 甚至 10 nm技术了。大概是13年的时候。”

    “三星与台积电在芯片代工中是竞争对手。台积电嘴巴上当然不能输。悄悄的放宽了node cd的定义，也把自己技术从22 nm吹到了14nm。”

    “这种夸大也延续到了现在，实际上三星跟台积电的7nm只比intel的14nm强一点，强的有限。”测试广告2