顾北突然问道。

    “你说用液体？”张文华神情很诧异。

    “为什么不行？”没想到顾北的神情很认真：“不是要降低光的波长，光源出发是根本方法，水会改变光的折射率——这个高中生都知道吧？在透镜和硅片之间加一层水，原有的193nm激光经过折射，不就降低了吗？”这段话还是顾北重生前在网上看到的，所谓的浸润式原理。

    “顾北，没你想到这么简单！”张文华口气中带着沮丧：“就在干式微影老攻克不下来的时候，我也想到了用液体做介质，但实验了一段时间最后决定放弃。”

    “为什么？”

    “因为这里面有几乎无法克服的苦难，如果用水，浸入环境很容易引起缺陷，包括气泡和污染，还有抗蚀剂与流体或面漆的相容性问题，抗蚀剂的折射指数如何能大于1.8等等一系列问题都无法克服。”

    听不懂......

    “刘所长怎么想的？”顾北皱眉问道。

    “他开始笑我有些异想天开，我据理力争最后他同意我带几个人独自试验，不过到最后还是他说的对，我们又集中力量开始攻关干式微影，白白浪费了几个月时间。”

    张文华说道最后有些不好意思。

    “其实，你的研究方向是对的。”

    顾北突然说出这句话，让张文华吃了一惊：“你说我的方向是正确？”

    顾北点点头：“我问你，从理论上讲用液体做介质到底有没可能攻克这个难题？”

    “理论上说是可行，但是实际遇到的问题很多，除了我刚才说的，还有折射指数大于1.65的流体满足粘度、吸收和流体循环要求…….”张文华也不管顾北听的懂听不懂，又开始解释起来。

    “好了，不说这个……”顾北打断他的话，“明天我就找你刘所长，研发方向放到液体做介质浸润式微影技术！”

    顾北的语气不容置疑。

    虽然他听不懂张文华说的那些艰涩专业术语，但是他记得很清楚，网上就说ASML公司就靠这个所谓的“浸润式”技术，打败了尼康IBM等公司所谓干式微影技术，成了光刻机的龙头。

    这实际上是一种研发路线选择，一旦错了，满盘皆输！尼康IBM就是活生生的例子！测试广告2